авторефераты диссертаций БЕСПЛАТНАЯ  БИБЛИОТЕКА

АВТОРЕФЕРАТЫ КАНДИДАТСКИХ, ДОКТОРСКИХ ДИССЕРТАЦИЙ

<< ГЛАВНАЯ
АГРОИНЖЕНЕРИЯ
АСТРОНОМИЯ
БЕЗОПАСНОСТЬ
БИОЛОГИЯ
ЗЕМЛЯ
ИНФОРМАТИКА
ИСКУССТВОВЕДЕНИЕ
ИСТОРИЯ
КУЛЬТУРОЛОГИЯ
МАШИНОСТРОЕНИЕ
МЕДИЦИНА
МЕТАЛЛУРГИЯ
МЕХАНИКА
ПЕДАГОГИКА
ПОЛИТИКА
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
ПРОДОВОЛЬСТВИЕ
ПСИХОЛОГИЯ
РАДИОТЕХНИКА
СЕЛЬСКОЕ ХОЗЯЙСТВО
СОЦИОЛОГИЯ
СТРОИТЕЛЬСТВО
ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
ТРАНСПОРТ
ФАРМАЦЕВТИКА
ФИЗИКА
ФИЗИОЛОГИЯ
ФИЛОЛОГИЯ
ФИЛОСОФИЯ
ХИМИЯ
ЭКОНОМИКА
ЭЛЕКТРОТЕХНИКА
ЭНЕРГЕТИКА
ЮРИСПРУДЕНЦИЯ
ЯЗЫКОЗНАНИЕ
РАЗНОЕ
КОНТАКТЫ

Виктория александровна оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала

На правах рукописи

УДК 621.793

Литвинова Виктория Александровна

ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ

СТЕКЛОВИДНЫХ ПЛЕНОК

ОКСИДОВ КРЕМНИЯ И ТАНТАЛА

01.04.04 – Физическая электроника

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени

кандидата технических наук

Томск 2010

2

Работа выполнена в Томском государственном университете систем управления и радиоэлектроники

Научный руководитель доктор технических наук, профессор Смирнов Серафим Всеволодович

Официальные оппоненты доктор физико-математических наук, профессор Давыдов Валерий Николаевич кандидат технических наук, старший научный сотрудник Пономарев Денис Владимирович

Ведущая организация Институт автоматики и электрометрии СО РАН (г. Новосибирск)

Защита диссертации состоится 28 декабря 2010 г. в 9.00 часов на заседании диссертационного совета Д.212.268.04 при Томском государствен ном университете систем управления и радиоэлектроники по адресу: 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40, ауд.203.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке ТУСУР по адресу:

Томск, ул. Вершинина, 74.

Автореферат разослан «25» ноября 2010 г.

Ученый секретарь диссертационного совета доктор технических наук, Акулиничев Ю.П.

профессор

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Одним из важных направлений современной энергетики является широкое использование солнечного излучения. Важную роль в преобразовании солнечной энергии в электрическую энергию должны сыграть полупроводниковые солнечные элементы. Однако, чтобы они могли конкурировать с другими способами получения энергии, необходимо повы сить эффективность их работы и снизить стоимость. Коэффициент полезного действия полупроводниковых солнечных элементов возможно существенно повысить путем использования антиотражающих тонкослойных покрытий.

Поэтому актуальной становится задача получения тонких наноразмерных слоев оксидов различных металлов, нанесенных на поверхность полупровод никовой пластины. Современные технологии получения тонких пленок поз воляют существенно расширить возможности их использования в различных областях промышленного производства, в том числе и в производстве высо коэффективных полупроводниковых источников света. В то же время совре менные методы получения тонких пленок являются не только инструментом для их нанесения, но и методом, который позволяет формировать состав, структуру и свойства пленок, придавая им тем самым оптические свойства, качественно отличающиеся от свойств исходного материала. В результате со здается возможность целенаправленного формирования оптических свойств пленок и придания им статуса многофункциональности [1]. Наиболее пер спективными для дальнейшего применения являются пленки оксидов крем ния и тантала. Характерной особенностью тонкопленочных структур на осно ве тантала и кремния является их многофазность и неопределенность состава.

Структура таких тонких пленок является преимущественно аморфной, а их состав существенно отличается от стехиометрического, поэтому оптические свойства тонких слоев существенно отличаются от свойств монокристалли ческого материала. Кроме того оптические свойства этих слоев в значитель ной мере зависят от свойств подложки, на которую они наносятся, а также от состава и структуры поверхностных и адсорбированных слоев.

Цель работы. Исследование оптических свойств тонких стекловидных пленок оксидов кремния и тантала, полученных методами ионно-плазменно го распыления, плазмохимического осаждения, анодирования, термического окисления, осаждением из пленкообразующих растворов на монокристалли ческие полупроводниковые, поликристаллические керамические и стеклян ные подложки, и разработка эффективных оптических методов контроля их качества.

Для достижения поставленной цели были определены следующие зада чи:

1. Исследовать структуру и состав наноразмерных стекловидных пленок, полученных различными методами.

2. Исследовать оптические свойства полученных пленок в широком ин тервале длин волн.

3. Установить взаимосвязь между составом и структурой подложки и оптическими свойствами тонкой пленки.

4. Разработать методы исследования и технологического контроля свойств наноразмерных пленок оптическими методами.

5. Определить возможные области практического применения тонких пленок с заданными оптическими свойствами.

Работа выполнялась в рамках федеральных целевых программ: «Разви тие научного потенциала высшей школы 2009-2010» (НИР № 2.1.1/429), «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России на 2010 2014 годы» (государственный контракт от 22 марта 2010г. № 02.740.11.0553), договора №37/10 между ТУСУР и ОАО НИИПП.

Объекты исследования. Наноразмерные, стекловидные пленки окси дов тантала и кремния на подложках из монокристаллического кремния, по ликристаллического оксида алюминия и кварцевого стекла.

Научная новизна 1. Установлена зависимость физических свойств наноразмерных стекло видных пленок на основе оксидов кремния и тантала от метода их получения и показано, что пленки оксида кремния, полученные методами ионно-плаз менного распыления, имеют преимущественно аморфную структуру, а пленки оксида тантала смешанную структуру с некоторой долей (до 30%) по ликристаллической фазы.



2. Установлено влияние материала подложек и качества подготовки их поверхности на структуру и оптические свойства наноразмерных пленок и показано, что на оптические свойства пленок оказывают влияние как условия их получения, шероховатость поверхности подложек, так и адсорбированные на поверхности вещества.

3. Предложена оптическая модель тонкой пленки, нанесенной на шеро ховатую поверхность, и показано, что оптические свойства такой пленки за висят от длины волны, угла падения света и от геометрии рельефа поверхно сти.

4. Разработаны комплексные методы исследования оптических характе ристик наноразмерных пленок в широком диапазоне длин волн от 190 нм до 50 мкм.

Положения, выносимые на защиту 1. Оптические свойства, структура и фазовый состав наноразмерных, стекловидных пленок оксидов тантала и кремния в значительной мере опре деляются методом их получения. Наиболее близкими по характеристикам к исходному материалу обладают пленки, полученные ионно-плазменным ме тодом.

2. Оптические свойства наноразмерных тонких пленок зависят от тол щины пленки, материала подложки и качества подготовки её поверхности.

Для пленок SiO2, полученных в условиях промышленного производства ме тодом плазмохимического осаждения, показатель преломления увеличивает ся (2,0) с уменьшением толщины пленки, а при магнетронном ионно-плаз менном распылении – уменьшается (1,35).





3. При эллипсометрических измерениях показатель преломления, пока затель поглощения и толщина наноразмерных пленок являются функциями длины волны излучения и угла падения лазерного луча, что обусловлено гео метрией рельефа поверхности подложки.

Практическая ценность работы 1. Полученные результаты и разработанные методы исследования опти ческих свойств тонких наноразмерных пленок могут быть использованы как в условиях серийного производства полупроводниковых приборов в ОАО НИИПП, НПФ «Микран», так и при выполнении научно-исследовательских и учебно-практических работ в лабораторных условиях ТУСУР.

2. Установленные закономерности изменения состава и структуры тон ких пленок соединений тантала позволяют оптимизировать технологические режимы их получения при изготовлении полупроводниковых солнечных эле ментов, полупроводниковых источников света и гибридных интегральных схем СВЧ диапазона.

3. Разработанные методики исследований используются в учебном про цессе кафедры физической электроники ТУСУР при изучении курса «Мето ды исследований материалов и структур электроники». Разработанные мето ды контроля технологических процессов позволят повысить качество изде лий полупроводниковой электроники.

Достоверность полученных результатов обеспечивается применени ем современных взаимодополняющих методов исследования, сопоставлени ем полученных данных с результатами, полученными на тех же образцах раз личными организациями.

Личный вклад автора Автором работы проведены исследования оптических характеристик наноразмерных тонких пленок, разработаны экспериментальные методы ис следования, проведен анализ полученных результатов.

Апробация работы Результаты работы представлялись и докладывались на:

12-й Всероссийской научной конференции студентов-физиков и молодых ученых (г. Новосибирск, НГУ, 2006);

4-й Международной научно-практиче ской конференции «Современные тенденции развития аграрной науки в Си бири» (г. Новосибирск, НГАУ, 2006);

научно-практической конференции «Современные проблемы и достижения аграрной науки» (г. Томск, 2005, 2006, 2010);

5-й Международной конференции «Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах» (г. Томск, 2006);

регио нальной научно-практической конференции молодых ученых и студентов «Научная сессия ТУСУР» (г. Томск 2006);

Международной научно-практиче ской конференции «Аграрная наука – сельскому хозяйству» (г. Барнаул, 2007, 2008, 2010);

10-й Международной конференции по научному обеспече нию АПК азиатских территорий (г. Улан-Батор, 2007);

6-й Международной конференции «Наука и инновации агропромышленного комплекса» (г. Кеме рово, 2007);

10-й Международной конференции «Gas Discharge Plasmas and Their Applications» (г. Томск, 2007).

Публикации По теме диссертации опубликовано 15 работ, включая 3 статьи в рецен зируемых изданиях, рекомендуемых ВАК, и 12 тезисов докладов на между народных, всероссийских и региональных конференциях.

Структура и объём диссертации Диссертация состоит из 5 глав, выводов и приложения. Материал изло жен на 153 страницах машинописного текста, включая 76 рисунков и 26 та блиц. Список использованных источников и литературы содержит 115 на именований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении дано обоснование актуальности, определены цели и зада чи работы, отражены основные научные результаты и практическая ценность.

Первая глава носит обзорный характер и посвящена рассмотрению современного состояния проблемы. Рассматриваются основные методы полу чения стекловидных тонких пленок и их свойства. Наиболее подробно рассмотрены оптические и физико-химические свойства тонких пленок на основе SiO2 и Та2О5. Рассмотрены методы подготовки поверхности подложек перед нанесением тонких пленок. Рассмотрены основные области примене ния стекловидных тонких пленок в оптике, радиоэлектронике и электротех нике.

Во второй главе дается описание применяемого экспериментального оборудования и методик для исследования оптических свойств тонких пленок.

Оптические свойства наноразмерных пленок исследовали методами мо лекулярной ИК-спектроскопии (Spekord -72), Фурье-спектроскопии (Infralum FT-801), спектральной лазерной эллипсометрии (ЛЭФ-72, ЛЭФ- 92), оптиче ской электронной спектроскопии (USB-2000), рамановской спектроскопии (AvaRaman-532).

Состав и структуру полученных тонких пленок исследовали с помощью ОЖЭ-спектроскопии, ВИМС, рентгенофазного анализа. Микро- и наноре льеф поверхности подложек исследовали с помощью электронной растровой (ТМ-1000), атомно-силовой (СТМ-200) и спектр-микроскопии. Электриче ские свойства исследовали с помощью апробированных в ТУСУР методик.

В третьей главе приведены результаты исследований поверхности, ис пользуемых для нанесения пленок, подложек монокристаллического крем ния, арсенида галлия, стекла и керамики. В данной работе использовались полированные подложки с параметрами шероховатости Ra = 0,025-0,1 мкм при базовой длине 80 мкм.

Показано, что имеются значительные разногласия при определении ше роховатости поверхности подложек профилометром с алмазной иглой, интер ферометром типа МИИ-4М, по спектр-структуре отраженного лазерного из лучения и атомно-силовой микроскопии. Поверхность данных подложек яв ляется фрактальной с размерностью D 2,3 по результатам измерений на профилометре и D 2,7 при использовании данных атомно-силовой микро скопии.

Рисунок 1 – АСМ-изображения рельефа (I), фазового контраста (II) и профили поперечного сечения рельефа h(y) и фазового контраста (y) (III) участков исходной поверхности n-GaAs площадью: а) 44,3144,31 мкм2;

б) 11 мкм Приведены результаты эллипсометрических исследований поверхности подложек из арсенида галлия после химической обработки в аммиачно-пере кисном растворе. Показано, что на поверхности подложек кроме собственно го окисла существуют ионные и молекулярные адсорбированные слои кисло рода, азота, углерода, воды, которые приводят к нарушению стехиометрии состава пленок на границе раздела пленка-подложка и, как следствие, к неод нородности оптических свойств по толщине пленки.

В четвертой главе приводятся результаты исследований оптических свойств наноразмерных пленок диоксида кремния, полученных как в услови ях серийного производства НИИПП, опытного производства НПФ «Микран», так и в лабораторных условиях ТУСУР. Тонкие пленки получали с помощью магнетронного ионно-плазменного распыления, термического распыления, плазмохимического осаждения, пиролитического разложения моносилана кремния в кислородсодержащей среде, окислением поверхности кремния в увлажненном водороде. На рисунке 2 представлена типичная дифрактограм ма для тонких пленок SiO2, полученных данными методами, которая характе ризуется наличием двух расплывчатых максимумов в районе от углов от до 50 градусов и от 75 до 100 градусов. Отсутствие характерных для кристал лического оксида кремния дифракционных максимумов позволяет сделать вывод об преимущественно аморфном (стеклообразном) состоянии тонких пленок. Это подтверждается результатами исследований оптических и ИК спектров в диапазоне длин волн от 190 нм до 25 мкм. Данные исследования подтверждают наличие аморфного состояния в пленках, а также отклонение их состава от стехиометрического.

Рисунок 2 - Дифрактограмма пленки SiO2, полученной методом магнетронного распыления на подложку из монокристаллического кремния Исследованы ИК-спектры пропускания и отражения тонких пленок SiO2, нанесенные на различные подложки. Спектр пропускания содержит на ряду с основными полосами, обусловленными колебаниями групп Si-O в тет раэдрической позиции, линии, обусловленные колебаниями групп ОН.

Исследования эллипсометрических параметров тонких пленок и в диапазоне длин волн от 240 до 900 нм показали (рисунок 3), что на границе раздела пленка-подложка существует переходной слой обусловленный, как шероховатостью поверхности подложки, так и физико-химическими процес сами на поверхности подложки.

Рисунок 3 – Изменение основных эллипсометрических параметров тонких пленок SiO2 на подложках из кремния в зависимости от длины волны света (угол падения 70°) В зависимости от качества обработки поверхности подложки переход ной слой имеет или повышенный показатель преломления, или пониженный по сравнению с показателем преломления исходного материала. Так для пленок SiO2, полученных в промышленных условиях НИИПП плазмохимиче ским осаждением, переходной слой толщиной 5–10 нм имеет показатель пре ломления порядка 2–1,7 и показатель поглощения порядка 0,3–0,5. В то же время для пленок, полученных в лабораторных условиях ТУСУР, переходной слой имеет толщину порядка 15 нм с показателем преломления порядка 1, и показателем поглощения порядка 0,8–1, что связано с менее качественной обработкой поверхности (рисунок 4).

Рисунок 4 – Зависимость показателя преломления пленок SiO на подложке из монокристаллического кремния от толщины:

1 – полученной методом плазмохимического осаждения 2 – полученной магнетронным распылением кремния на постоянном токе в смеси газов Ar +O В пятой главе приводятся результаты исследований электрофизиче ских и оптических свойств тонких пленок оксида тантала. Состав и структура тонких пленок тантала и его соединений, полученных методами ионно-плаз менного распыления, оказывают определяющее влияние на их электрофизи ческие свойства. В зависимости от процентного содержания в пленке метал лического тантала и его соединений они могут быть: проводящими электри ческий ток, диэлектрическими, оптически прозрачными и непрозрачными.

На рисунке 5 представлена дифрактограмма тонкой пленки Та 2О5, полу ченной магнетронным распылением Та в смеси газов Ar+O2 на подложке из монокристаллического кремния, из которой следует, что пленка по фазовому составу преимущественно аморфная с долей (15–20%) кристаллической фазы -Та2О5.

Рисунок 5 – Дифрактограмма тонкой пленки Та2О5, полученной магнетронным распылением Та в смеси газов Ar+O2 на подложке из монокристаллического кремния Вид зависимости R = f(T) (U–образность и наличие минимума при низ ких температурах) свидетельствует о наличии двух фаз в пленках (рису нок 6).

R/R0s 1, 0, 0, 0,4 0, 293 313 333 353 393 433 T,K Рисунок 6 - Температурные зависимости поверхностного сопротивления тонких пленок Та+Та2О5: 1– R0s=100 Ом/;

2 - R0s=1,5 кОм/;

3 - R0s=25 кОм/;

4 - R0s=100 кОм/;

5 - R0s=1 ГОм/ Для всех промежуточных составов характерно присутствие на зависи мости двух участков с различной крутизной и, следовательно, с различной энергией активации, что соответствует зависимости :

1 E E exp, = + exp R R0 kT kT где R0 – сопротивление тонкой пленки при 0 о С;

Е – энергия актива ции;

Т – температура;

k – постоянная Больцмана.

В зависимости от условий распыления тонкие пленки могут быть поли кристаллическими, монокристаллическими, аморфными или содержать, что наиболее вероятно, одновременно несколько фаз.

Как видно из графиков (рисунок 6) для пленок тантала, полученных ионно-плазменным и магнетронном распылением, характерно уменьшение сопротивления при нагреве, что указывает на термоактивационный характер электропроводности. Это связано с присутствием в танталовой пленке значи тельной доли диэлектрической и интерметаллической фаз. Как уже отмеча лось выше, на состав тонкой пленки определяющую роль оказывают приме си, захватываемые пленкой в процессе конденсации на подложке. В процессе конденсации примеси, содержащиеся в остаточной атмосфере вакуумной ка меры, в рабочем газе и адсорбированные на поверхности подложки, активно внедряются в пленку, что приводит к образованию нестехиометрических фаз внедрения типа TaNxOyCz и Ta2NxOyCz. С уменьшением скорости распыления насыщение тонкой пленки примесями увеличивается, а при увеличении ско рости распыления захват примеси пленкой уменьшается. При отклонении со отношения концентраций минимум температурной зависимости смещается в сторону более высоких температур при уменьшении концентрации проводя щей фазы и в сторону низких температур при её увеличении.

Малая энергия активации в диапазоне температур от 300 до 325 К сви детельствует о наличие в структуре тонких пленок перколяционных класте ров из контактирующих металлических частиц, а малая энергия активации объясняется существованием туннелирующих переходов в оксидных про слойках между металлическими частицами.

Тонкие пленки Та2О5 получали путем магнетронного распыления на по стоянном токе мишени из технического тантала в атмосфере смеси аргона с кислородом в соотношении 1:1 при суммарном давлении в камере 1 Па, а так же и магнетронным ВЧ-распылением из танталовой мишени особо высокой чистоты.

Для измерения коэффициента преломления и пропускания тонкие пленки наносились на высокоомный кремний и арсенид галлия, обладающие высоким коэффициентом пропускания в ближней области ИК-спектра, и по лированное кварцевое стекло, прозрачное в видимой и ультрафиолетовой об ластях спектра. Коэффициент преломления тонких пленок определялся эл липсометрическим методом на лазерном эллипсометре ЛЭФ-72. Для тонких наноразмерных пленок, нанесенных на реальные шероховатые подложки, по казатель преломления и толщина являются функциями угла падения лазерно го луча. С увеличением угла падения измеряемая величина показателя пре ломления увеличивается, а измеряемая толщина пленки уменьшается (рисун ки 7 и 8). Для объяснения этого явления была предложена модель шерохова той поверхности с тонкой пленкой, согласно которой растущая пленка пре имущественно осаждается во впадинах, а не на вершинах микрошероховато стей.

Рисунок 7 – Зависимость результатов измерения показателя преломления пленок Та2О5 от угла падения луча лазера на подложки:

1 – из высокоомного кремния;

2 – из арсенида галлия Рисунок 8 – Зависимость результатов измерения толщины пленок Та 2О от угла падения луча лазера на подложки: 1 – из высокоомного кремния;

2 – из арсенида галлия Для пленок, полученных распылением на постоянном токе, коэффици ент преломления имел величину порядка 2,02, в то время как при напылении ВЧ -магнетроном n = 2,1. Коэффициент пропускания и отражения определял ся на спектрометре типа USB-2000. Результаты исследований приведены на рисунке 9, из которых следует, что полученные тонкие пленки из Та 2О5 не яв ляются идеальными и обладают заметным оптическим поглощением, что на наш взгляд, обусловлено примесями, захваченными при конденсации пленок при ВЧ-распылении, и примесями, содержащимися в танталовой мишени технической чистоты при распылении на постоянном токе.

Рисунок 9 - Оптические спектры пропускания тонких пленок Та 2О5, нанесенных на кремниевую подложку: 1 - пленка, полученная магнетронным распылением на постоянном токе;

2- пленка, полученная магнетронным ВЧ-распылением

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ 1. Наноразмерные пленки SiO2 и Та2О5, полученные методами ионно плазменного распыления, плазмохимического и анодного осаждения, имеют преимущественно аморфную структуру и могут быть отнесены к стекловид ным материалам.

2. Структура, химический и фазовый состав, полученных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала, имеют существенные различия в зависи мости от метода их получения и толщины пленки.

3. Полученные ионно-плазменным распылением оксидные пленки крем ния и тантала характеризуются большой неоднородностью фазового состава, структуры и оптических свойств по толщине пленки.

4. Из температурных зависимостей электрического сопротивления тон ких пленок соединений тантала следует, что их фазовый состав состоит, как минимум, из двух типов фаз, одна из которых обладает металлической прово димостью, а другая – термоактивационной проводимостью.

5. Оптические свойства тонких пленок соединений тантала в видимом и инфракрасном диапазоне длин волн изменяются в широком диапазоне в зави симости от условий их получения.

6. Величина показателя преломления наноразмерных тонких пленок, на несенных на реальные подложки, зависит от длины волны, угла падения све та и от рельефа их поверхности.

7. Разработанные методы контроля оптических характеристик пленок и геометрических размеров могут быть рекомендованы к использованию в условиях мелкосерийного производства НИИПП и НПФ «Микран».

Список цитируемой литературы 1. В.И. Верещагин, В.В. Козик, В.И. Сырямкин, В.М. Погребенков, Л.П. Борило. Полифункциональные неорганические материалы на основе природных и искусственных соединений // Томск, ТГУ, 2002. – 359 с.

Основные публикации по диссертации 1. Смирнов С.В., Чистоедова И.А., Литвинова В.А. Структура и свой ства тонких пленок тантала, полученных магнетронным распылением // Доклады ТУСУР. – №4(12). – 2005. – С. 80 – 84.

2. S.V. Smirnov, V.A. Litvinova, I.A. Chistoedova. Plasma-Anodic Thin Film Resistor // Известия Вузов. Физика. – №9. – 2007. – С. 445 - 446.

3. S.V. Smirnov, V.A. Litvinova, I.A. Chistoedova. Thin Film of Connec tions Tantalum With Oxygen, Carbon and Nitrogen Obtained bu Jet High-Fre quecu Ionic-Plasma Dispersion // Известия Вузов. Физика. – №9. – 2007. – С. 447 - 448.

4. Литвинова В.А., Макрушин А.В. Тонкие светотехнические стекловид ные покрытия системы Si-O-C // Сборник трудов региональной научно-прак тической конференции «Современные проблемы и достижения аграрной нау ки», Томск, ТСХИ НГАУ. – Вып. 8. – 2005. – С. 220 - 222.

5. Смирнов С.В., Чистоедова И.А., Литвинова В.А. Влияние вакуумной термообработки на влагосодержание тонких стекловидных покрытий на основе SiO2 // Материалы 5-й Международной конференции «Радиаци онно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах».

Томск – 2006. – С. 315 - 316.

6. Литвинова В.А. Влагостойкость тонких стекловидных покрытий на основе SiO2 // Материалы 4-й международной конференции «Современные тенденции развития аграрной науки в Сибири», Новосибирск, НГАУ. – 2006.

– С. 116 - 117.

7. Смирнов С.В., Литвинова В.А., Чистоедова И.А. Оптические свойства тонких пленок оксида тантала // Тезисы докладов 12-й Всероссийской науч ной конференции молодых ученых, Новосибирск, НГУ. – 2006. – С. 131 - 132.

8. Литвинова В.А. Светолучевой метод локального ремонта стеклоэма левых изделий // Сборник трудов региональной научно-практической конфе ренции «Современные проблемы и достижения аграрной науки», Томск, ТСХИ НГАУ. – Вып. 9. – 2006. – С. 233 - 235.

9. Литвинова В.А., Демиденко В.В. Уменьшение СВЧ-потерь в микро полосковых схемах путем планаризации поверхности керамических подло жек // Материалы научно-практической конференции «Научная сессия ТУ СУР», Томск, ТУСУР. – 2006. – С. 306 - 308.

10. Литвинова В.А., Гончарова Ю.С. Получение и свойства тонких пленок оксида тантала // Доклады 6-й Международной научно-практической конференции «Наука и инновации агропромышленного комплекса», Кемеро во, КемСХИ. – 2007. – С. 202 - 204.

11. Литвинова В.А. Получение и свойства тонких светокорректирую щих пленок оксида тантала на стекле // Труды 10-й Международной конфе ренции по научному обеспечению АПК азиатских территорий, Улан-Батор (Монголия). – 2007. – С. 450 - 451.

12. Литвинова В.А., Казакова Е.В. Электрохимическая коррозия паяных соединений // Сборник статей 2-й Международной научно-практической кон ференции «Аграрная наука – сельскому хозяйству». – Барнаул. - 2007. – С.

255 - 257.

13. Литвинова В.А. Тонкопленочные цветокорректирующие покрытия для ламп тепличного освещения // Сборник статей 3-й Международной науч но-практической конференции «Аграрная наука – сельскому хозяйству». – Барнаул. - 2008. – С. 195 - 196.

14. Литвинова В.А., Саврук Е.В. Наноразмерные пленки оксида тантала, полученные ионно – плазменным методом // Сборник трудов региональной научно-практической конференции «Современные проблемы и достижения аграрной науки в животноводстве, растениеводстве и экономике». - Томск:

ТСХИ НГАУ. – Вып. 12. – 2010. – С. 299 – 301.

15. Литвинова В.А. Тонкие стекловидные покрытия на основе SiO2 // Сборник статей 5-й Международной научно-практической конференции «Аграрная наука – сельскому хозяйству». – Барнаул. - 2010. – С. 316 - 318.

Тираж 100 экз. Заказ 1122.

Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники.

634050, г. Томск, пр. Ленина, 40.

Тел. (3822) 533018.



 

Похожие работы:





 
2013 www.netess.ru - «Бесплатная библиотека авторефератов кандидатских и докторских диссертаций»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.