авторефераты диссертаций БЕСПЛАТНАЯ  БИБЛИОТЕКА

АВТОРЕФЕРАТЫ КАНДИДАТСКИХ, ДОКТОРСКИХ ДИССЕРТАЦИЙ

<< ГЛАВНАЯ
АГРОИНЖЕНЕРИЯ
АСТРОНОМИЯ
БЕЗОПАСНОСТЬ
БИОЛОГИЯ
ЗЕМЛЯ
ИНФОРМАТИКА
ИСКУССТВОВЕДЕНИЕ
ИСТОРИЯ
КУЛЬТУРОЛОГИЯ
МАШИНОСТРОЕНИЕ
МЕДИЦИНА
МЕТАЛЛУРГИЯ
МЕХАНИКА
ПЕДАГОГИКА
ПОЛИТИКА
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
ПРОДОВОЛЬСТВИЕ
ПСИХОЛОГИЯ
РАДИОТЕХНИКА
СЕЛЬСКОЕ ХОЗЯЙСТВО
СОЦИОЛОГИЯ
СТРОИТЕЛЬСТВО
ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
ТРАНСПОРТ
ФАРМАЦЕВТИКА
ФИЗИКА
ФИЗИОЛОГИЯ
ФИЛОЛОГИЯ
ФИЛОСОФИЯ
ХИМИЯ
ЭКОНОМИКА
ЭЛЕКТРОТЕХНИКА
ЭНЕРГЕТИКА
ЮРИСПРУДЕНЦИЯ
ЯЗЫКОЗНАНИЕ
РАЗНОЕ
КОНТАКТЫ


На правах рукописи

ДАВЛЯТШИНА Алена Андреевна

ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В НЕРАВНОВЕСНОЙ

НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ HCl И ЕГО СМЕСЕЙ С АЗОТОМ

И КИСЛОРОДОМ

02.00.04 – Физическая химия

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Иваново 2013

Работа выполнена на кафедре «Технология приборов и материалов электронной техники» Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Ивановский государственный химико-технологический университет»

Научный руководитель: доктор химических наук, профессор Ефремов Александр Михайлович

Официальные оппоненты: доктор физико-математических наук, профессор Бутман Михаил Федорович (ФГБОУ ВПО государственный химикоИвановский технологический университет», заведующий кафедрой технологии керамики и наноматериалов) доктор физико-математических наук, доцент Руденко Константин Васильевич (ФГБУ науки «Физико-технологический институт РАН», ведущий научный сотрудник лаборатории микроструктурирования и субмикронных приборов)

Ведущая организация: ФГБОУ ВПО «Ярославский государственный университет им. П. Г. Демидова» (г. Ярославль)

Защита состоится «13» мая 2013 г. в 10.00 на заседании диссертационного совета Д 212.063.06 при Ивановском государственном химико-технологическом университете по адресу: 153000, г. Иваново, пр. Ф. Энгельса, 7, ауд. Г–205.

Тел.: (4932) 32-54-33, факс: (4932) 32-54-33, e-mail: dissovet@isuct.ru

С диссертацией можно ознакомиться в информационном центре Ивановского государственного химико-технологического университета по адресу:

153000 г. Иваново, пр. Ф. Энгельса, 10.

Автореферат разослан «_»2013г.

Ученый секретарь совета Д 212.063. Егорова Елена Владимировна e-mail: Egorova-D6@yandex.ru

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы. Процессы размерного структурирования поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев различной природы являются неотъемлемой частью технологии интегральных микросхем (ИМС).

При переходе к наноразмерному диапазону элементов ИМС основная роль в формировании технологического рельефа поверхности отводится процессам «сухого» (плазменного) травления, которые обеспечивают лучшую (по сравнению с жидкостными технологиями) анизотропию процесса, высокую селективность по отношению к органическим маскам и чистоту.

В последнее время в процессах плазмохимического травления металлов (Al, Cu) и полупроводников (Si, GaAs, InP) находит применение неравновесная низкотемпературная плазма галогенводородов HX (X = Cl, Br, I). Преимуществами HCl перед другими хлорсодержащими газами (BCl3, Cl2, фреоны CFxCly) являются отсутствие полимеризационных явлений, низкие концентрации атомов хлора, обеспечивающие анизотропный профиль травления, а также дополнительные эффекты, достигаемые за счет химических реакций атомов водорода. Еще одной особенностью современной технологии плазменного травления является использование двухкомпонентных газовых смесей, в которых галогенсодержащий газ совмещается с инертной (Ar, He) или молекулярной (H2, O2, N2) добавкой. Достоинством таких систем является то, что начальный состав смеси представляет эффективный инструмент регулирования параметров плазмы и концентраций активных частиц. В предшествующих работах было показано, что Ar и He в смесях Cl2, BCl3 и HCl не являются инертными разбавителями, а влияют на кинетику плазмохимических процессов через изменение средней энергии и концентрации электронов в плазме. На этом фоне, исследования влияния добавок молекулярных газов на электрофизические параметры и концентрации активных частиц плазмы HCl крайне малочисленны, при этом системы HCl-N2 и HCl-O2 вообще не изучались. Отсутствие информации по механизмам физико-химических процессов, формирующих стационарные параметры и состав плазмы в смесях HCl с N2 и O2, обуславливает трудности в разработке и оптимизации технологических процессов на их основе.

Важным направлением развития современной плазмохимической технологии является разработка невозмущающих оптико-спектральных методов контроля состава плазмы. Исследования по данному вопросу как для плазмы чистого HCl, так и для смесей HCl-N2, O2 также отсутствуют.

Цель работы. Выявление кинетических закономерностей и механизмов физико-химических процессов, формирующих стационарные параметры и состав плазмы смесей HCl-N2 и HCl-O2. Анализ взаимосвязей между концентрациями и интенсивностями излучения нейтральных частиц. Работа выполнялась по следующим направлениям:

1) Экспериментальное исследование электрофизических параметров (температура газа, приведенная напряженность электрического поля) и спектров излучения плазмы.

2) Компиляция наборов реакций, сечений и констант скоростей, обеспечивающих корректное описание стационарных параметров и состава плазмы в исследуемых системах.

3) Моделирование плазмы: расчеты энергетических распределений электронов, интегральных характеристик электронного газа, констант скоростей элементарных процессов, концентраций нейтральных и заряженных частиц, плотностей их потоков на поверхность, ограничивающую объем плазмы.



Научная новизна работы. В ходе выполнения работы получены следующие новые результаты:

1) Впервые сформированы кинетические схемы (наборы реакций, сечений и констант скоростей), обеспечивающие корректное описание электрофизических параметров и состава плазмы смесей HCl-N2 и HCl-O2.

2) Впервые проведено исследование электрофизических параметров плазмы смесей HCl-N2 и HCl-O2. Установлено, что увеличение доли N2 в смеси HClN2 вызывает заметную деформацию ФРЭЭ, при этом отсутствие корреляции между / и средней энергией электронов обусловлено неаддитивным изменением потерь энергии в неупругих соударениях. Найдено, что в смеси HCl-O2 эти эффекты выражены значительно слабее в силу близости потерь энергии электронов в процессах колебательного и электронного возбуждения исходных молекул.

3) Впервые проведено исследование кинетики процессов образования-гибели заряженных частиц плазмы смесей HCl-N2 и HCl-O2. Показано, что варьирование начального состава смеси HCl-N2 сопровождается более резкими изменениями частот гибели и концентрации электронов. Найдено, что разбавление HCl кислородом вызывает заметное снижение интенсивности ионной бомбардировки поверхности, контактирующей с плазмой.

4) Впервые проведено исследование кинетики процессов образования-гибели нейтральных частиц плазмы смесей HCl-N2 и HCl-O2. Найдено, что разбавление HCl азотом не сопровождается принципиальными изменениями кинетики атомно-молекулярных процессов, при этом имеет место рост степени диссоциации HCl за счет увеличения эффективности диссоциации электронным ударом. Показано, что кинетика образования атомов хлора в смесях HCl-O2 в значительной степени определяется атомно-молекулярными процессами с участием O(3P), O(1D) и OH.

5) Впервые проведено детальное исследование спектров излучения плазмы HCl, HCl-N2 и HCl-O2. Установлено, что в плазме HCl приведенные интенсивности излучения атомов Cl и H адекватно отражают изменения концентраций этих частиц. Показано, что при варьировании начального состава смеси HCl-O2 измеренные интенсивности излучения атомов удовлетворительно коррелируют с их концентрациями из-за незначительного изменения условий возбуждения.

Защищаемые научные положения:

Кинетические схемы (наборы реакций, сечений и констант скоростей), обеспечивающие корректное описание электрофизических параметров и состава плазмы смесей HCl-N2 и HCl-O2.

Результаты экспериментального исследования и самосогласованного моделирования (ФРЭЭ, интегральные характеристики электронного газа, константы скоростей процессов при электронном ударе, концентрации нейтральных и заряженных частиц) плазмы смесей HCl-N2 и HCl-O2.

Анализ влияния начального состава смесей HCl-N2 и HCl-O2 на электрофизические параметры плазмы. Анализ механизмов образования-гибели нейтральных и заряженных частиц.

Результаты исследования спектров излучения плазмы HCl, HCl-N2 и HCl-O2.

Выявленные взаимосвязи интенсивностей излучения и концентраций атомов.

Практическая значимость работы. Результаты работы могут быть использованы для разработки и оптимизации процессов плазмохимического травления, а также для анализа механизмов и при построении моделей физикохимических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме чистого HCl и смесей на его основе.

Личный вклад автора. Работа выполнена на кафедре «Технология приборов и материалов электронной техники» (ТП и МЭТ) ФГБОУ ВПО «Ивановский государственный химико-технологический университет». Результаты моделирования плазмы получены лично автором. Автор принимала участие в обсуждении результатов диагностики плазмы, формировании наборов исходных данных для моделирования и в адаптации алгоритмов моделирования плазмы для выбранных объектов исследований. Моделирование плазмы проводилось с использованием ПО, разработанного ранее на кафедре ТП и МЭТ.

Апробация работы. Основные положения и выводы диссертационной работы были представлены и обсуждены на VI Международном симпозиуме по теоретической и прикладной плазмохимии (Иваново, 2011), VI Всероссийской конференции молодых учёных, аспирантов и студентов с международным участием «Менделеев 2012» (Санкт-Петербург, 2012), Международной конференции «Микро- и наноэлектроника 2012» (Москва-Звенигород, 2012). Всего сделано 3 доклада.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 7 работ, из них 4 статьи в журналах Перечня ВАК, 3 тезисов докладов на конференциях.

Структура и объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, выводов и списка использованных литературных источников.

Общий объем диссертации составляет 117 страниц, включая 64 рисунка и таблиц. Список использованных источников содержит 115 наименований.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность исследования, сформулирована цель работы, определена научная новизна и защищаемые положения.

В первой главе представлен обзор и обобщение литературных данных по теме исследований. Рассмотренные вопросы включают: 1) свойства неравновесной низкотемпературной плазмы и направления ее применения в технологии ИМС; 2) взаимосвязи внешних и внутренних параметров плазмы, механизмы плазмохимических процессов в HCl; 3) эффекты влияния инертных и молекулярных добавок на стационарные параметры и состав плазмы галогенсодержащих (Cl2, HCl, HBr) газов. По результатам анализа литературы сделаны следующие выводы:

Плазма HCl является перспективной системой для размерного структурирования и очистки поверхностей полупроводниковых пластин и функциональных слоев в технологии ИМС. Для плазмы HCl предложена кинетическая схема (набор реакций, сечений и констант скоростей), обеспечивающая удовлетворительное согласие результатов диагностики и моделирования плазмы, а также проведен анализ взаимосвязей внешних параметров плазмы (ток разряда, давление газа), ее внутренних характеристик и состава.

В современной технологии плазменного травления преимущественно используются двухкомпонентные смеси галогенсодержащего газа с инертным или молекулярным газом. В таких системах, начальный состав смеси представляет эффективный механизм регулирования конечного результата обработки поверхности.

Найдено, что в смесях Cl2, HCl и HBr с инертными (Ar, He) газами варьирование начального состава смеси сопровождается значительными изменениями электрофизических параметров плазмы (ФРЭЭ, средняя энергия и концентрация электронов) и кинетики процессов при электронном ударе. Аналогичные эффекты обнаружены и для смесей HCl и HBr с H2.

Исследования влияния добавок N2 и O2 на параметры и состав плазмы HCl отсутствуют. Этот факт затрудняет разработку и оптимизацию технологических процессов с использованием плазмы смесей HCl-N2, O2.

С учетом вышесказанного и была сформулирована цель диссертационной работы.

Во второй главе описаны методики экспериментального исследования и моделирования плазмы смесей HCl-N2 и HCl-O2.

Экспериментальные исследования параметров плазмы HCl, HCl-N2 и HClO2 проводились в стеклянном проточном цилиндрическом плазмохимическом реакторе (радиус = 0.9 см, длина зоны разряда = 40 см) при возбуждении тлеющего разряда постоянного тока. В качестве внешних (задаваемых) параметров разряда выступали ток разряда ( = 10–40 мА), давление газа ( = 20– 220 Па) и объемный расход газа ( = 2–8 см3/с при норм. усл.). Начальный состав смесей HCl-N2 и HCl-O2 задавался парциальными давлениями компонентов при = const. Измерения осевой напряженности электрического поля ( ) в зоне положительного столба разряда проводились методом зондов Лангмюра.

Температуру газа ( ) определяли при решении уравнения теплового баланса разрядной трубки в условиях естественного охлаждения с использованием экспериментальных данных по температуре наружной стенки. Cпектры излучения плазмы регистрировали с помощью монохроматора AvaSpec-2048-2 в диапазоне длин волн 200–900 нм. Отбор излучения проводился с помощью световода с торцевой части разрядной трубки через кварцевое окно. Разрешение спектральной установки составляло 0.2 нм.

Моделирование плазмы HCl проводилось в пятикомпонентном приближении (HCl/H/Cl/H2/Cl2) по нейтральным невозбужденным частицам. Для системы HCl-N2 диссоциацию азота не учитывали. Для системы HCl-O2 учитывались реакции с участием O(3P), O(1D), O2(a1g) и O2(b1g+). Алгоритм самосогласованного моделирования плазмы включал совместное решение следующих уравнений:

1) Стационарного кинетического уравнения Больцмана без учета электронэлектронных соударений и столкновений второго рода. Решение проводилось с помощью конечно-разностной консервативной схемы. Точность расчета контролировалась по выполнению баланса энергии электронов.

объему концентрации.

3) Квазистационарных ( = 0) уравнений химической кинетики вида, где и – средние скорости образования и гибели данного сорта частиц в объеме плазмы, а – константа скорости (частота) гетерогенной гибели. Частоты гетерогенной гибели атомов определялись в предположении о первом кинетическом порядке рекомбинации (механизм Или-Ридила) с использованием литературных данных по вероятностям реи 310-4. При записи соответсткомбинации:

вующего уравнения для HClV=1 полагалось, что образование этих частиц происходит только в процессах электронного удара, а гибель - гетерогенно, электронным ударом и в объемных V-T процессах. Эффективная колебательная температура оценивалась в предположении о больцмановском энергетическом распределении HClV>1.

4) Уравнения квазинейтральности для концентраций объемных концентраций заряженных частиц и условия равенства плотностей их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы.

концентрация частиц), обеспечивающая поддержание стационарной плазмы, определялась равенством скоростей образования и гибели электронов в приближении эффективного коэффициента диффузии ( ).

Выходными параметрами модели служили стационарные значения, ФРЭЭ, интегральные характеристики электронного газа (средняя энергия, скорость дрейфа, приведенные коэффициент диффузии и подвижность ), константы скоростей элементарных процессов, а также средние по объему плазмы концентрации частиц и плотности их потоков на поверхность, контактирующую с плазмой.

В третьей главе проведен анализ взаимосвязей внешних параметров плазмы HCl, ее внутренних электрофизических характеристик и состава. Проведено исследования спектров излучения плазмы HCl, найдены корреляции между интенсивностями излучения и концентрациями атомов Cl и H.

ственным изменениям, ФРЭЭ и интегральных характеристик электронного газа. Рост давления газа при = const сопровождается монотонным снижением (рис. 1) (из-за снижения частоты диффузионной гибели электронов высокоэнергетичных электронов и параметра (рис. 1 и 2) (из-за увеличения частоты неупругих столкновений электронов с «тяжелыми» частицами). Аналогичное изменение претерпевают и константы скоростей процессов под действием электронного удара, удовлетворяющих условию, где - пороговая энергия процесса.

Рис. 1. Приведенная напряженность элек- Рис. 2. Функция распределения электронов трического поля (1) и средняя энергия элек- по энергиям в плазме HCl при = 20мА.

тронов (2) в плазме HCl при = 20 мА. Точки – эксперимент, линии – расчет.

Основной вклад в общую скорость образования электронов и положительных ионов вносит реакция R1: HCl + e HCl+ + 2e, при этом в области 120–140 Па происходит смена доминирующего механизма гибели электронов от диффузии к стенкам реактора к диссоциативному прилипанию R2: HClV=0,1,2, + e H + Cl-. Снижение величины с ростом давления газа (табл. 1) связано с более быстрым падением частоты ионизации по сравнению с const в области высоких давлений.

Суммарная концентрация положительных ионов увеличивается с ростом как (из-за увеличения скорости ионизации), так и (из-за уменьшения и частоты диффузионной гибели ионов) (табл. 1). Нелинейный характер зависимости обусловлен снижением частоты ионизирующих столкновений электронов и ростом скорости ион-ионной рекомбинации. Концентрация отрицательных ионов следует изменению скорости R2 (табл. 1), при этом основной вклад в образование отрицательных ионов вносят молекулы HClV=0.

Вклад HClV>0 не превышает 10% из-за высоких скоростей релаксации этих частиц в V-T процессах, низкой эффективной колебательной температуры и заселенности возбужденных уровней.

Концентрация, см скорость инициирования этого процесса по R7: HCl + eH + Cl + e. Эффективная скорость генерации атомов водорода не превышает (в силу ), при этом более чем в 10 раз выше скорости гетерогенной рекомбинации атомов H и скорости диссоциации Cl2 электронным ударом. Поэтому в плазме = 20 мА) и низкие, по сравнению с другими молекулярными компонентами, концентрации Cl2. Рост давления приводит к увеличению концентраций всех нейтральных частиц кроме атомов H из-за роста скорости их гибели по R5.

Интенсивность, отн. ед.

350 375 400 425 450 650 700 750 800 Рис. 4. Общий вид спектра излучения плазмы HCl при = 100 Па, = 25 мА.

ницей доступного нам диапазона длин волн. Отсутствие излучения молекул Cl тиц в плазме. Наиболее интенсивными, стабильно проявляющимися и свободными от перекрывания другими максимумами являются линии Cl 452.6 нм 12.09 эВ). Наблюдаемые изменения интенсивностей излучения представляют суммарный эффект концентраций соответствующих частиц и условий возбуждения, характеризуемых параметром, где - константа скорости возбуждения (рис. 5).

kexne, c Рис 5. Зависимости интенсивностей излучения(точки+сплошная линия) и параметра (прерывистые линии) от давления газа при = 25 мА для атомов водорода (а) и хлора (б).

отн.ед.

Рис. 6. Зависимость отношения приведенростом давления HCl. Этот вывод хоных интенсивностей излучения атомов Cl и В четвертой главе проведен анализ кинетики и механизмов плазмохимических процессов в смеси HCl-N2.

Увеличение доли N2 в смеси с HCl от 0–90% приводит к монотонному снижению (рис. 7), что связано с одновременным снижением и.В области < 50–60 Па основную роль в формирование ФРЭЭ вносят процессы c > 6–7 эВ, при этом снижение потерь энергии электронами на возбуждение высоколежащих электронных состояний и ионизацию молекул HCl не компенсируется аналогичными процессами для N2. Поэтому, имеет место «обогащение» ФРЭЭ высокоэнергетичными электронами (рис. 8), ростом средней энергии и скорости дрейфа электронов (табл. 2). При > 70–80 Па заметный вклад в формирование ФРЭЭ вносят низкопороговые процессы, при этом добавка N приводит к обеднению ФРЭЭ в области < 10 эВ за счет потерь энергии на вращательное и колебательное возбуждение N2. Это приводит к снижению и (табл. 2), при этом константы скоростей низкопороговых процессов (колебательное возбуждение, диссоциация) остаются практически неизменными.

E/N, Рис. 7. Приведенная напряженность элек- Рис. 8. Энергетическое распределение трического поля в смесях HCl-N2 при = электронов в смесях HCl-N2 при = 25 мА:

25 мА: 1– = 40 Па, 2–100 Па, 3–200 Па. 1–чистый HCl, 2–60% N2, 3–90% N2.

Точки – эксперимент, линии – расчет.

Скорость дрейфа, средняя энергия и эффективный коэффициент диффузии Доля Характер зависимости const качественно одинаков во всем исследованном диапазоне условий (рис. 9).

В области низких давлений, в условиях, изменение режима диффузии вают уменьшение (табл. 2) и. Частота ионизации (где R8: N2 + e N2 + 2e) также снижается в силу 150 Па противоположные тенденции изменения и взаимно компенсируются, поэтому величина плотности потока ионов в приводит к аналогичному поведению.

ne, 10 см Рис. 9. Концентрация электронов в сме- Рис. 10. Суммарные концентрации (1–3) и = 25 мА: = 40 Па (1), плотности потоков (4, 5) положительных иосях HCl-N2 при 100 Па (2) и 200 Па (3).

Рис. 11. Влияние начального состава смеси HCl-N2 на частоту диссоциации HCl элек- N2 в исходной смеси, особенно в оби концентрацию ласти высоких давлений, происходит тронным ударом атомов хлора (3, 4) при Установлено, что спектральный контроль изменений концентраций атомов Cl и H не представляется возможными из-за перекрывания излучения атомарных линий излучением полос N2.

В пятой главе проведен анализ кинетики и механизмов плазмохимических процессов в смеси HCl-O2.

Увеличение доли O2 в смеси HCl-O2 приводит к снижению / (рис. 12) из-за одновременного снижения (табл. 3) из-за изменения режима диффузии от свободного к амбиполярному при снижении электроотрицательности плазмы.

В области низких давлений основной вклад в формирование ФРЭЭ вносят высокопороговые ( > 6–7 эВ) процессы. Снижение потерь энергии электронами на возбуждение и ионизацию HCl не компенсируется аналогичными процессами для O2. Соответствующее изменение ФРЭЭ (рис. 13) сопровождается слабым увеличением средней энергии электронов и ростом скорости их дрейфа (табл. 3). В области высоких давлений заметный вклад в формирование ФРЭЭ вносят низкопороговых процессы. Здесь добавка кислорода вызывает обеднение ФРЭЭ в области > 5 эВ, а также незначительное снижение за счет потерь энергии на возбуждение состояний O2(a g) ( = 0.98 эВ) и O2(b1g+) ( = 1.64 эВ). Рост обусловлен увеличением крутизны средней части ФРЭЭ.

- E/N, Рис. 12. Приведенная напряженность Рис. 13. Энергетическое распределение электрического поля в плазме смеси HCl- электронов в плазме смеси HCl-O2 при = O2. Точки – эксперимент, линии – расчет 25 мА.

при = 25 мА.

Скорость дрейфа, средняя энергия и эффективный коэффициент диффузии Доля Характер зависимости const определяется доминирующим механизмом гибели при данном давлении газа (рис. 14). В области низких давлений, в условиях, снижение с ростом доли O2 в смеси сопровождается еще более резким падением


Похожие работы:


Похожие работы:

«ВАХИДОВ УМАР ШАХИДОВИЧ ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОСНОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ МАШИН ВЫСОКОЙ ПРОХОДИМОСТИ ДЛЯ РЕШЕНИЯ ТРАНСПОРТНЫХ ПРОБЛЕМ ГОРНЫХ РАЙОНОВ СЕВЕРНОГО КАВКАЗА 05.05.03 – Колёсные и гусеничные машины Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Нижний Новгород 2012 Работа выполнена на кафедре Строительные и дорожные машины Автомобильного института Нижегородского государственного технического университета им. Р.Е.Алексеева...»

«БУРАКОВА Елена Анатольевна ПРОЦЕССЫ И ОБОРУДОВАНИЕ АКТИВАЦИИ КАТАЛИЗАТОРА СИНТЕЗА МНОГОСЛОЙНЫХ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК ФИЗИЧЕСКИМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ 05.17.08 – Процессы и аппараты химических технологий 02.00.05 – Электрохимия АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Тамбов 2012 1 Работа выполнена на кафедре Техника и технологии производства нанопродуктов федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего...»

«ЯКИМЕНКО Андрей Николаевич ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ИНЖЕНЕРИИ РАДИАЦИОННЫХ ДЕФЕКТОВ В ДИОДНЫХ И МДП СТРУКТУРАХ Специальность: 01.04.07 – Физика конденсированного состояния АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Санкт-Петербург – 2012 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный политехнический университет доктор...»

«ТЮРИНА Марина Михайловна МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНАЯ СИСТЕМА ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ГАЗОВЫХ ПОТОКОВ НА ОСНОВЕ МНОГОКАНАЛЬНОГО ПРИЕМНИКА ПОТОКА И СТРУЙНО-КОНВЕКТИВНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ Специальность 05.11.16 – Информационно-измерительные и управляющие системы (в приборостроении) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Казань 2012 1 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального...»

«ФУГЕЛОВА Татьяна Анатольевна ФОРМИРОВАНИЕ ПРОФЕССИОНАЛЬНОЙ МОБИЛЬНОСТИ СТУДЕНТОВ В ПРОЦЕССЕ ВУЗОВСКОГО ТЕХНИЧЕСКОГО ОБРАЗОВАНИЯ (социокультурный аспект) 13.00.01 – общая педагогика, история педагогики и образования 13.00.08 – теория и методика профессионального образования АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора педагогических наук Тюмень – 2012 1 Работа выполнена в ФГБОУ ВПО Тюменский государственный университет Научный консультант : академик РАО, доктор...»

«02.00.04 – – 2012 :, : :,, : O4)2 ( ) 3 Ca10(PO4)6(OH)2 ( ), -.,. -, -, -.,,, - -,.,, ( ), -. - -,,.. - ( ). - P–OH, -. ( - ), (, ). -. - ( - ), ( - - ),. - -., -,., - -, in vitro in vivo., Ca-, P-, Si- ; 4. - -.,. 01201054463),, - 07-03-96094, - -, - C-, 11-3- -676 10Ca(OH)2+(6-x)H3PO4+xSi(OR)4 Ca10(PO4)6-x(SiO4)x(OH)2-x+4xROH+(18-3x)H2O (2) 3 - Ca10(PO4)5.5(SiO4)0.5(OH)1.5, 4 - Ca10(PO4)6(OH)0.5F1.5, 5 - Ca10(PO4)6(OH)F, 2 -...»

«МОТОРИН Максим Леонидович МОДЕЛИРОВАНИЕ И УПРАВЛЕНИЕ ПЕРИОДИЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ АНИОННОЙ ПОЛИМЕРИЗАЦИИ С УЧЁТОМ МОЛЕКУЛЯРНО-МАССОВОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ 05.13.18 – Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ 05.13.06 – Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Воронеж 2012 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном...»

«Атясова Марина Львовна ПРЕДОПЕРАЦИОННАЯ ПОДГОТОВКА И ОПЕРАТИВНОЕ ЛЕЧЕНИЕ ГЛУБОКИХ ОЖОГОВ У ЛИЦ ПОЖИЛОГО И СТАРЧЕСКОГО ВОЗРАСТА 14.01.15 – травматология и ортопедия АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата медицинских наук Нижний Новгород – 2012 Диссертация выполнена на базе отдела термической травмы федерального государственного бюджетного учреждения Нижегородский научно-исследовательский институт травматологии и ортопедии Министерства здравоохранения и...»

«ТИМОФЕЕВ ПАВЕЛ АНАТОЛЬЕВИЧ МОДЕЛИРОВАНИЕ БИЗНЕС-ПРОЦЕССОВ И АВТОМАТИЗАЦИЯ ФОРМИРОВАНИЯ ОРГАНИЗАЦИОННЫХ СТРУКТУР В СИСТЕМЕ ПОДДЕРЖКИ УПРАВЛЕНЧЕСКОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ПРОМЫШЛЕННЫХ ОБЪЕДИНЕНИЙ Специальность 05.13.06 – Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (промышленность) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Москва - 2012 2 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении...»

«Шкляр Татьяна Фридриховна КОНЦЕПЦИЯ МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАНИЯ В МИОКАРДЕ НА ОСНОВЕ ФИЗИКОХИМИЧЕСКОЙ ПРИРОДЫ ЦИТОСКЕЛЕТА 03.03.01 – физиология АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени доктора биологических наук Челябинск – 2012 2 Работа выполнена в Центральной научно-исследовательской лаборатории ГБОУ ВПО Уральская государственная медицинская академия Министерства здравоохранения и социального развития Российской Федерации. Научный консультант : Цывьян...»

«Аль-Обайди Надир Джасим Мохаммед ЗАВИСИМОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫХ СВОЙСТВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ОКСИДА ЦИНКА ОТ УСЛОВИЙ ОСАЖДЕНИЯ И УРОВНЯ ЛЕГИРОВАНИЯ АТОМАМИ ГАЛЛИЯ Специальность 01.04.04 - физическая электроника АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Махачкала – 2012 1 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего профессионального образования ДАГЕСТАНСКИЙ...»

«Исламова Анна Фаридовна ЗАДАЧИ СМЕШАННОГО УПРАВЛЕНИЯ ДЛЯ ЛИНЕЙНЫХ РАСПРЕДЕЛЕННЫХ СИСТЕМ СОБОЛЕВСКОГО ТИПА 01.01.02 дифференциальные уравнения, динамические системы и оптимальное управление АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Екатеринбург 2012 Работа выполнена в ФГБОУ ВПО “Челябинский государственный университет” на кафедре математического анализа. Научный руководитель : кандидат физико-математических наук, доцент Плеханова...»

«Донсков Дмитрий Геннадиевич РЕКОНСТРУКЦИЯ МОРФОГЕНЕЗА ЛИСТА МХОВ И ЕГО СВЯЗЬ С ФОРМОЙ ЛИСТА И ОСОБЕННОСТЯМИ БИОЛОГИИ ВИДОВ 03.02.01 – Ботаника АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата биологических наук Москва 2012 Работа выполнена в Федеральном государственном бюджетном учреждении науки Главный ботанический сад им. Н.В. Цицина РАН Научный руководитель : доктор биологических наук, профессор Игнатов Михаил Станиславович Официальные оппоненты : доктор...»

«Руфф Ольга Сергеевна РАЗВИТИЕ ГОСУДАРСТВЕННОЙ ПОДДЕРЖКИ КРЕСТЬЯНСКИХ (ФЕРМЕРСКИХ) ХОЗЯЙСТВ (на материалах Новосибирской области) Специальность 08.00.05 – Экономика и управление народным хозяйством (экономика, организация и управление предприятиями, отраслями и комплексами. АПК и сельское хозяйство) Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата экономических наук Новосибирск 2012 Диссертация выполнена на кафедре финансов в ФГБОУ ВПО Новосибирский...»

«На правах руколиси,.пъ/ Салцпд Марпя Владимпровяа Инвестиционно-финансовые механпзм и ицструмецты организацци деяtельцости малых иццовациоццых предпрпятий в промышленности 08,00,05 _ Экояомика и управлевие народя!вл хозяйством: _экояомика, организация ii упраыевие предприятIляN,и, оцаслями, комшексам! - промыплевость; -упрашевие инвовац!ям! Автореферат Ед сопскаппе учеЕой степеЕп диссертацпп кацдпдата экоЕомпческпх Еаук москва 2012 _ Работа выполнена в филиме ФГБОУ ВПО ЗJщи la сосгоиrс, i о....»

«Ha npanax pyrorruclr p-r Boftrexoncrcan Mapnna lerponna wcToPufl oOPMI,IPOBAHAflII PA3BIITWflCIICTEMbI OEIUEIO I,I AIF,iWfl, COCTABHOftTIACTI,I TIEIATOTUqECKOTOOFPA3OB KAK IPOIIECCA POCCURCKOR MOIEPHTT3ATIUU rrMrrEpl{tr Cnequamuocru 07.00.02 - OreqecrBeHua.fl lrcroplrrr Anrope(peparAr,rccepr arlvr Ha corcKarrre yreHofi crerreHr{ r4cropuqecKr,rx HayK AoKTopa Toprcx Pa6ora BbrrroJrHeua ra$e4pe oreqecrBeHnofiucroprlrr r{ KyJrrTyponoru}r na OfFOy BIIO ryras. 3aqura,qr{ccepraur.rur 212.267.03 rpu...»

«ЛУКМАНОВА Ольга Борисовна ЖАНРОВОЕ СВОЕОБРАЗИЕ ЛИТЕРАТУРНЫХ СКАЗОК ДЖОРДЖА МАКДОНАЛЬДА Специальность 10.01.03 – Литература народов стран зарубежья (западноевропейская литература) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата филологических наук Нижний Новгород 2012 Работа выполнена на кафедре зарубежной литературы и теории межкультурной коммуникации ФГБОУ ВПО Нижегородский государственный лингвистический университет им. Н. А. Добролюбова доктор филологических...»

«ОВЧИННИКОВА ЕЛЕНА ВАДИМОВНА ПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА ПРОЦЕССОВ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ (при изготовлении элементов РЭУ) Специальности: 05.02.23 – Стандартизация и управление качеством продукции; 05.27.01 – Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микрои наноэлектроника на квантовых эффектах (технические наук и) АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Москва 2012 Работа выполнена в федеральном государственном бюджетном...»

«УДК 159.922 АБАЕВА ИННА ВЛАДИМИРОВНА ЦЕННОСТНО-СМЫСЛОВЫЕ ОТНОШЕНИЯ И ФРУСТРАЦИЯ ПОЗНАВАТЕЛЬНОЙ АКТИВНОСТИ В СТАРШЕМ ПОДРОСТКОВОМ ВОЗРАСТЕ Специальность: 19.00.13 – психология развития, акмеология (психологические наук и) Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата психологических наук Санкт-Петербург 2012 Работа выполнена на кафедре психологии развития Государственного бюджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования...»

«КИСЕЛЕВА Мария Алексеевна УСТОЙЧИВОСТЬ И КОЛЕБАНИЯ БУРОВЫХ УСТАНОВОК 01.02.01 – Теоретическая механика АВТОРЕФЕРАТ диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Санкт-Петербург 2012 Работа выполнена на кафедре прикладной кибернетики математикомеханического факультета Санкт-Петербургского государственного университета. Научный руководитель : член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук,...»

 
2013 www.netess.ru - «Бесплатная библиотека авторефератов кандидатских и докторских диссертаций»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.